簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共1筆資料 檢索策略： "Jyh-Wei Lee".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="雙層週期厚度"


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    以陰極電弧鍍膜系統鍍製氮化鉻/氮化鋯奈米多層薄膜之研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生： 陳曉帆   指導教授： 王朝正
    • 本研究以陰極電弧鍍膜系統於矽晶片與碳化鎢基材上鍍製共五種氮化鉻/氮化鋯奈米多層薄膜，藉著改變試片在真空腔體內的轉速以控制薄膜的雙層週期厚度。本研究利用低掠角X光繞射儀進行薄膜層之晶相分析，以原子力顯…
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